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メタルマスクデータ 生成 メタルマスクフィルム検査ソフト

メタルマスク製造データ生成 検査

メタルマスクデータスキャン生成 検査

印刷マスクデータ作成/検査: Mask インスペクタ
基板・フィルムなどからのメタルマスク製造データ作成(マスクビルダ)機能に加え、メタルマスク製造時の検査や使用前後の保守検査を行え、メタルマスクの製造・使用をトータルに支援いたします。
 

スキャン

新採用の透過光/反射光切替ユニットにより、基板のみでなくフィルムからも高解像度画像が得られ、より高密度基板用メタルマスクデータを生成できると共に、30µ以下の変形アパーチャの検査を可能としました。基板配置密度や検査マスクに合わせ、スキャン分解能を設定できます。
 
新フルカラー画像補間変換エンジンにより、スキャン画像から最高分解能1.76µmの検査データが得られます。
 

検査

メタルマスク・スクリーン版などをスキャンし、ガーバーデータ比較なしで、開口数・開口形状の検査します。ガーバーデータのワンタッチ比較により、より詳細の位置ずれなどの検査を行います。
 
検査メタルマスクなどと比較元データのアパーチャの微妙な中心位置ずれを自動補正する新LMA(ローカルアライメント)機能により、各アパーチャの比較中心を正確に重ね、アパーチャ形状面積比較により検査します。
 
さらに、フレキシブルな検査レベル設定により、最適なエラー検出レベルと効率的な検査速度が得られます。
 

測長

スキャンした画像からギャップ間隔などを測ると共に、拡大カラー画像を保存・印刷を行えます。
 
印刷マスクデータ作成/検査:Mask インスペクタ

仕様(デスクトップタイプ)

最大スキャン対象 813×813mm
最大スキャン範囲 297×418mm
スキャン分解能 300〜4800dpi
最小編集分解能 0.001mmまたは0.1mil
大きさ(D×W×H) 770×980×320mm
重量 約25kg
※仕様は予告なく変更する場合があります



 




 










 

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