基板・メタルマスク リバースエンジニアリング

メタルマスク検査装置

デスクトップ型メタルマスク検査装置 Maskチェッカ ・Maskインスペクタ

メタルマスク検査装置
ガーバーデータと比較
良品スキャンデータと比較
ガーバー・ラスター自動オーバーラップ
基板面・開口部同時検査
簡単な操作性
1枚あたりの平均検査時間 ~3分
ラインアップ
メタルマスク 検査装置
Mask チェッカ
メタルマスク データ作成・検査装置
 Mask インスペクタ
メタルマスクをスキャンし、メタルマスク製造時や出荷時のCADデータ比較検査、印刷使用前後保守での良品データやCADデータ比較による良品比較検査、目視検査に変わるフレキシブルな形状不良開口数検査を行えます。
複数マスク検査同時進行可能
メタルマスク製造時の検査や使用前後の保守検査に加え、基板・フィルムなどからのメタルマスク製造データ作成(マスクビルダ)機能を備え、メタルマスクの製造・使用を、1台でトータルに支援いたします。






印刷マスクデータ作成/検査:Mask インスペクタ
CADデータ比較検査
自動位置重ね合わせ機能を搭載し、自動直交補正や自動伸縮補正により、開口寸法不良や位置不良などの検査を、簡単操作で行えます。
良品比較検査
良品スキャンデータと比較し、印刷後の洗浄確認や変形などの異常を検出します。
形状不良開口数検査
CADデータ比較なしで、拡大目視検査と同様以上の検査を自動で行えます。フレキシブルな解像度による形状認識エンジン搭載により、バリやスパイク突起といった形状不良・ピンホールを検出すると共に開口数検出により開口欠如も検査できます。
メタルマスク製造データ生成
基板・フィルムなどをスキャンしたデータやガーバーなど基板設計データから、はんだ印刷マスク製造データを生成します。
基板メーカーや基板ロットごとに微妙に違うパッドサイズも、基板現物のパッドサイズ・位置からのはんだ印刷マスク製造データ作成で、実装不良の極めて少なくすることができます。カラー認識不要のフィルムからのデータ作成は、ほぼワンクリックの簡単作成が可能です。
CADデータ比較検査
良品比較検査
形状不良開口数検査

機能

スキャニング
新採用の透過光/反射光切替ユニットにより、基板のみでなくフィルムからも高解像度画像が得られ、より高密度基板用メタルマスクデータを生成でき、30µ以下の変形アパーチャの検査を可能としました。基板配置密度や検査マスクに合わせ、スキャン分解能を設定できます。
新フルカラー画像補間変換エンジンにより、スキャン画像から最高分解能5µmの検査データが得られます。
検査
メタルマスク・スクリーン版などをスキャンし、ガーバーデータ比較なしで、開口数・開口形状の自動検査が可能です。

詳細を検査するCADデータ比較検査では、ガーバーデータのワンタッチ比較による簡単操作で、より詳細の位置ずれなどの検査がを行え、検査メタルマスクなどと比較元データのアパーチャの微妙な中心位置ずれを自動補正する新LMA(ローカルアライメント)機能により、各アパーチャの比較中心を正確に重ね、アパーチャ形状面積比較により検査します。
 
さらに、フレキシブルな検査レベル設定により、最適なエラー検出レベルと効率的な検査速度が得られます。
非開口部検出最小サイズ
スキャン解像度(dpi) ラスタ(μm) フィルタ最小値(μm) ガーバー(μm )
4800 10 5 1
4000 13 6
3200 15 8
2400 20 11
2000 25 13
1600 30 16
1000 50 25
 
測長
スキャンした画像からギャップ間隔などを測長でき、拡大カラー画像を保存・印刷を行えます。
 

仕様(デスクトップタイプ)

最大スキャン対象 813×813mm
最大スキャン範囲 297×418mm
スキャン分解能 300~4800dpi
最小編集分解能 5μm
大きさ(D×W×H) 770×980×320mm
重量 約25kg
※仕様は予告なく変更する場合があります
お問い合わせ・資料請求

ページの先頭へ戻る